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晶圆夹具环

晶圆夹具环
  • 晶圆夹具环

    Wafer Clamp Ring

  • 材料:
    TECAPEEK (PEEK)
    SINTIMID HP(PI)
  • 要求:
    不易损伤晶圆表面
    高尺寸稳定性,高纯度
    耐高温,耐化学性
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