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晶圆旋转卡盘

晶圆旋转卡盘
  • 晶圆旋转卡盘

    Wafer Spin Chunk

  • 材料:
    TECAPEEK (PEEK)
    SINTIMID HP(PI)
  • 要求:
    不易损伤晶圆表面
    高尺寸稳定性
    高耐化学性
    高耐磨性
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